본문바로가기

제품정보

스핀들

가공용스핀들

SW110-2407-S

본문

99277cec8e40db3d3df2740869c56255_1688111708_0738.png


SW110-2407-S

특수 스핀들 [쿼츠 가공 스핀들]

삼우하이테크에서 제작하는 반도체 장비용 스핀들은 두 분야에서 사용되고 있습니다.

반도체 웨이퍼 소재인 쿼츠(석영유리)를 가공하기 위한 쿼츠 가공용 스핀들과 가공된 웨이퍼를 정밀하게 연마하기 위한 웨이퍼 연마용 스핀들입니다.
쿼츠 가공용 스핀들은 가공성을 높이기 위해 강성이 좋은 볼베어링을, 연마용 스핀들은 정밀성을 높이기 위해 에어 베어링을 사용하고 있습니다.

이외에도 특수한 반도체용 스핀들을 주문제작하고 있습니다.

사양
Housing diameter(Ø) 110
Housing material Stainless steel
Power(S1)kw 7
Max speed(rpm) 24,000
Max frequency(Hz) 800
Rated torque(Nm) 5.8
Current(A) 24.4
Motor poles 4
Tool change manual
Tool interface straight
option ×
Cooling system water /oil
Bearing lubrication grease
Weight(kg) 18
Cup wheel(Ø) 150
파워&토크곡선

99277cec8e40db3d3df2740869c56255_1688111712_4166.png

도면

99277cec8e40db3d3df2740869c56255_1688111716_9933.png

INQUIRY